北京華卓精科科技股份有限公司(證券簡稱“華卓精科”,證券代碼834733)由清華大學(xué)IC裝備團隊在清華大學(xué)及其下屬“北京-清華工業(yè)技術(shù)研究院”和國家科技重大專項02重大專項的支持下創(chuàng)立,是一家肩負(fù)著專項重大科研成果產(chǎn)業(yè)化重任的高新技術(shù)企業(yè),是國內(nèi)第一個成功研制出光刻機雙工件臺的高科技企業(yè)。
公司自2012年成立以來,主營集成電路高端整機、超精密運動系統(tǒng)、精密儀器設(shè)備和高端特種制造,現(xiàn)已經(jīng)成功推出隔振、超精密運動系統(tǒng)、激光退火設(shè)備、晶圓堆疊設(shè)備等集成電路裝備及關(guān)鍵零部件。公司已獲得100余項國內(nèi)利。
公司現(xiàn)有員工260多人,其中技術(shù)和研發(fā)人員占比75%,博士20余人,碩士研究生80余人。
2019年9月,占地30余畝的亦莊園區(qū)投入使用,園區(qū)建筑面積45000平米,總投資4.9億元,建有千級潔凈間、萬級潔凈間、地下負(fù)18米世界頂級的光學(xué)精密實驗室、生產(chǎn)車間、員工食堂、宿舍。